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干式真空泵的應用范圍
瀏覽: 發(fā)布日期:2017-05-17
    現(xiàn)在干式真空泵越來越受到人們的歡迎,應用范圍也越來越廣,具體都應用在哪些領(lǐng)域呢?下面的文章為大家介紹一下。
  1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2、半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3、除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
  4、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;
  5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。

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