所謂真空系統(tǒng)，它是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當?shù)穆?lián)接方式，組合成能達到一定真空度要求的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是：

     ① 在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度二工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體，這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電極除氣和陰極分解會大量出氣，如果工作真空度差，則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結果。但器件最后封離時已基本上無漏放氣，器件內的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。

     ② 為獲得某一工作真空度所需的時間。這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室如宇航模擬裝置等，顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大，但由于漏放氣嚴重，則真空系統(tǒng)也需要大的抽速，否則大量的漏放氣將大大降低真空度，使系統(tǒng)無法工作。

     ③ 在被抽器件或工作室內有合適的殘氣成分。實踐證明，單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的，還應對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件，為了保持在一年壽命期內靈敏度的降低不大于巧，要求器件內的殘余氣體的含氧量應不高于10 一2Pa 耐高壓的真空開關管內，應不含有碳氫化合物分子等等。④ 此外，真空系統(tǒng)還必須結構簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等。要滿足這些要求，必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。同時，上述這些基本要求，經常是相互聯(lián)系的。例如，由于真空系統(tǒng)總不免存在有微漏現(xiàn)象，故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度，但大的泵價格貴，耗水、耗電多，故就有合理選擇的問題。

     一般說來，對于氣密性較好的真空系統(tǒng)，如果沒有經常性的放氣，內部也沒有蒸氣源，則可采用較小的，極限真空度較好的泵。但是，如果系統(tǒng)的漏放氣較多，則必須用提高抽速的辦法來保證其工作真空度，這時應采用較大抽速的泵，并盡可能增大管道流導，即選用短而粗的管道。

     真空系統(tǒng)的殘氣成分，如系統(tǒng)中無其它氣源，則主要取決于泵的特性。